MEMS芯片与IC芯片有什么区别？

MEMS 芯片（微机电系统芯片）是一种基于微机械加工手艺制造的芯片，具有微米甚至纳米级别的结构。MEMS 芯片通常由硅、玻璃、金属等质料制成，具有微型化、高精度、高迅速度、高可靠性等特点。MEMS 芯片主要用于传感器、执行器、微机械结构等微纳器件中，如微机械加速率计、微机械陀螺仪、微机械压力传感器等。

IC 芯片（集成电路芯片）是一种基于半导体工艺手艺制造的芯片，具有电路小型化、高集成度、高性能、低功耗等特点。IC 芯片主要由半导体质料制成，如硅、锗等，其制造历程包括芯片设计、制造、测试等多个环节。IC 芯片主要用于种种电子装备中，如盘算机、通讯装备、消耗电子产品等，实现电路功效和系统集成。

MEMS 芯片和 IC 芯片在结构、制造要领和应用方面保存显着差别。MEMS芯片主要应用于微纳器件中，具有微型化、高精度、高迅速度等特点，而 IC 芯片则普遍应用于种种电子装备中，具有高性能、低功耗等特点。